PEEK CMP专为 CMP 固定环应用而开发,是半导体行业产品组合的一部分。它是一种基于PEEK 聚合物的未填充 PEEK 塑料(聚醚醚酮)材料。 当加工成 CMP 固定环时,与标准 PEEK 塑料相比,特殊的 PEEK 材料特性可减少内槽磨损(也称为侧蚀),从而显着降低晶片缺陷的风险。在 CMP 弹性挡圈材料中,PEEK CMP 提供**的磨损和摩擦特性、机械性能、尺寸稳定性和耐温性,从而实现最长的弹性挡圈使用寿命。
由于PEEK塑料的耐磨性是PPS的三倍,而TPEEK CMP natural的耐磨性比竞争对手的PEEK产品高出20%,因此在使用寿命方面有明显的优势。通常,CMP 耗材的更换次数是寿命最短的耗材的倍数,通常是垫。因此,戒指更换时间通常与垫“进站”对齐。例如,在某些条件下,PPS 环可以持续大约 4 次垫片更换,标准 PEEK 环可以持续多达 12 次垫片更换,而 TECAPEEK CMP 环可以持续多达 14 次垫片更换。这对环汇率和总拥有成本具有显着的有利影响。
除了优化材料性能外,恩还开发了特殊尺寸的管材,更适合 CMP 卡环的典型尺寸,从而减少加工过程中的浪费和成本。例如,与传统的外径 360 毫米/内径 290 毫米相比,使用外径 350 毫米/内径 300 毫米的管材可节省高达 27% 的材料成本。
PEEK CMP 天然管的加工符合半导体精确复制要求(也称为精确复制或 CE),并且与工业 PEEK 等级相比,其质量控制更为严格。与标准工业 PEEK 塑料相比,额外的质量控制和措施可降低杂质风险并改善内部应力和尺寸稳定性。