PEEK导电材料作FOUP手动开启器可流畅减损

前开式晶圆传送盒（FOUP）手动开启器，专门用于开启FOUP的前开门片，符合半300毫米规范的FOUP皆可使用。 材质一般为导电工程塑料。

PEEK为低极性聚合物，具有良好的电绝缘性，介电常数及介质损耗因数小，介电强度中等。而且在高频范围内仍具有较好的介电性能，介电常数在60Hz到104Hz范围内保持3.2~3.3。其体积电阻率大于101Ωcm，而且经改性后还可制成为表面电阻率达108~10Ω的导电塑料。PEEK在高温下也能保持良好电性能，耐热级为C级。

用PEEK碳纤增强材料制造FOUP手动开启器，可以保障前开式晶圆传送盒的运行流畅，且PEEK碳纤材料耐磨、耐腐蚀，可以使用较长时间，减少损耗。

PEEK碳纤材料

不仅在导电方面的优异，PEEK耐高温热性能十分突出，可在250℃下长期使用，瞬间使用温度可达315℃；其刚性大，尺寸稳定性，线胀系数较小，接近于金属铝材料；PEEK化学稳定性好，对酸、碱及几乎所有的有机溶剂都有很强的抗腐蚀能力，同时具有阻燃、抗辐射等性能；PEEK耐滑动磨损和微动磨损耗的性能优异，尤其是能在250℃下保持高耐磨性和低摩擦因数。